一种铜蚀刻液及蚀刻液的制备方法、蚀刻方法、应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211168460.6

申请日：

2022-09-24

公开(公告)号：

CN117802502A

公开(公告)日：

2024-04-02

发明(设计)人：

徐杨李涛朱龙殷福华邵勇陈林任奕宇顾梦佳

申请人：

江阴江化微电子材料股份有限公司

申请人地址：

214400 江苏省无锡市江阴市周庄镇长寿云顾路581号

IPC主分类号：

C23F1/18

IPC分类号：

C23F1/44

代理机构：

无锡义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247

代理人：

陈巧云

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-02	公开	公开
2024-04-19	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23F 1/18申请日:20220924

共 50 条

[1]

铜蚀刻液、铜蚀刻液的制备方法及其应用 [P].

郭世豪 ;

王钦 ;

张丁山 ;

虞成城 .

中国专利 :CN118600426A ,2024-09-06

[2]

一种铜蚀刻液 [P].

张家明 ;

王维康 ;

何烨谦 ;

黄德新 .

中国专利 :CN117779036A ,2024-03-29

[3]

铜蚀刻液及其制备方法和蚀刻方法 [P].

张伟明 ;

刘明辉 ;

聂航 ;

衡京 ;

章学春 .

中国专利 :CN119753686A ,2025-04-04

[4]

一种蚀刻速率稳定的铜蚀刻液 [P].

李少平 ;

钟昌东 ;

郝晓斌 ;

贺兆波 ;

张演哲 ;

张庭 ;

蔡步林 ;

万杨阳 ;

王书萍 ;

冯凯 ;

尹印 ;

李鑫 ;

景继磊 .

中国专利 :CN111647889A ,2020-09-11

[5]

一种长蚀刻寿命的铜蚀刻液 [P].

李少平 ;

钟昌东 ;

郝晓斌 ;

贺兆波 ;

张演哲 ;

张庭 ;

蔡步林 ;

万杨阳 ;

王书萍 ;

冯凯 ;

尹印 ;

李鑫 ;

景继磊 .

中国专利 :CN111647888A ,2020-09-11

[6]

一种铜钼蚀刻液及其制备方法 [P].

钟昌东 ;

贺兆波 ;

张演哲 ;

叶瑞 ;

张庭 ;

刘悦 ;

黄锣锣 ;

黎鹏飞 ;

冯凯 ;

尹印 ;

王书萍 ;

万杨阳 ;

李金航 ;

李鑫 .

中国专利 :CN115418642A ,2022-12-02

[7]

铜蚀刻液及其配置方法、蚀刻方法及应用 [P].

张丁山 ;

王钦 ;

虞成城 .

中国专利 :CN117448822A ,2024-01-26

[8]

蚀刻液及蚀刻液的制备方法 [P].

杨丁 ;

黄双武 .

中国专利 :CN109536961B ,2019-03-29

[9]

一种含铜叠层蚀刻液、蚀刻方法及其应用 [P].

徐帅 ;

张红伟 ;

李闯 ;

胡天齐 ;

钱铁民 .

中国专利 :CN112342548A ,2021-02-09

[10]

一种铜蚀刻液及其制备方法与玻璃基板铜的蚀刻方法 [P].

杨志锋 ;

何剑明 ;

宋振 .

中国专利 :CN115786916B ,2025-10-31

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