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载台倾斜角度检测方法和载台调平方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410403162.3
申请日：
2024-04-03
公开(公告)号：
CN117990052A
公开(公告)日：
2024-05-07
发明(设计)人：
朱亮
王悦
张济帆
俞晨阳
申请人：
浙江求是半导体设备有限公司
浙江晶盛机电股份有限公司
申请人地址：
311100 浙江省杭州市临平区临平街道顺达路500号1幢102室
IPC主分类号：
G01C9/00
IPC分类号：
H01L21/66
G01B11/26
代理机构：
杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250
代理人：
何晓春
法律状态：
公开
国省代码：
浙江省
杭州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-07 | 公开 | 公开 |
| 2024-08-06 | 授权 | 授权 |
| 2024-05-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G01C 9/00申请日:20240403 |