用于载片台框架的载片台倾斜检测设备和载片台倾斜检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110281645.3

申请日：

2011-09-21

公开(公告)号：

CN102445188A

公开(公告)日：

2012-05-09

发明(设计)人：

许海渐

申请人：

申请人地址：

226006 江苏省南通市崇川区崇川路288号

IPC主分类号：

G01C900

IPC分类号：

代理机构：

北京市惠诚律师事务所 11353

代理人：

雷志刚;潘士霖

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-05-09	公开	公开
2012-06-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101271728158 IPC(主分类):G01C 9/00 专利申请号:2011102816453 申请日:20110921
2015-07-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101717671414 IPC(主分类):G01C 9/00 专利申请号:2011102816453 申请公布日:20120509

共 50 条

[1]

用于载片台框架的载片台倾斜检测设备 [P].

许海渐 .

中国专利 :CN202204508U ,2012-04-25

[2]

载台倾斜角度检测方法和载台调平方法 [P].

朱亮 ;

王悦 ;

张济帆 ;

俞晨阳 .

中国专利 :CN117990052A ,2024-05-07

[3]

载台倾斜角度检测方法和载台调平方法 [P].

朱亮 ;

王悦 ;

张济帆 ;

俞晨阳 .

中国专利 :CN117990052B ,2024-08-06

[4]

载片台清洁降温装置及晶圆检测设备 [P].

徐开涛 ;

陈夏薇 ;

姚建强 ;

郭剑飞 ;

吴文龙 .

中国专利 :CN217846407U ,2022-11-18

[5]

用于晶片缺陷检测带挑片板的载物台 [P].

李辉 ;

王军涛 .

中国专利 :CN217484212U ,2022-09-23

[6]

载物台组件和检测设备 [P].

陈康元 ;

张全红 .

中国专利 :CN221245286U ,2024-07-02

[7]

载台及尺寸检测设备 [P].

朱文娟 ;

曹葵康 ;

潘瑞丰 ;

李晨曦 ;

杨滕昆 ;

蔡雄飞 ;

徐一华 .

中国专利 :CN111721244B ,2020-09-29

[8]

载台及磨边检测设备 [P].

刘峰 ;

伯欣 ;

白生贵 .

中国专利 :CN118682609A ,2024-09-24

[9]

台片关系检测方法 [P].

范洪伟 ;

汪梦余 ;

商小飞 ;

张锋 ;

葛秀娟 .

中国专利 :CN103543378A ,2014-01-29

[10]

温控载物台及检测设备 [P].

王升启 ;

肖瑞 ;

荣振 ;

魏红娟 .

中国专利 :CN210215385U ,2020-03-31

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