用于载片台框架的载片台倾斜检测设备

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专利类型
实用新型
申请号
CN201120354765.7
申请日
2011-09-21
公开(公告)号
CN202204508U
公开(公告)日
2012-04-25
发明(设计)人
许海渐
申请人
申请人地址
226006 江苏省南通市崇川区崇川路288号
IPC主分类号
G01C900
IPC分类号
代理机构
北京市惠诚律师事务所 11353
代理人
雷志刚;潘士霖
法律状态
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码
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共 50 条
[1]
用于载片台框架的载片台倾斜检测设备和载片台倾斜检测方法 [P]. 
许海渐 .
中国专利 :CN102445188A ,2012-05-09
[2]
双载片台引线框架 [P]. 
黄渊 ;
张惠芳 ;
周霞 .
中国专利 :CN206098384U ,2017-04-12
[3]
用于光学抛光片检测台的载片支架 [P]. 
张文青 .
中国专利 :CN210879550U ,2020-06-30
[4]
一种引线框架的载片台 [P]. 
张云弓 .
中国专利 :CN208985976U ,2019-06-14
[5]
用于晶片缺陷检测带挑片板的载物台 [P]. 
李辉 ;
王军涛 .
中国专利 :CN217484212U ,2022-09-23
[6]
载片台清洁降温装置及晶圆检测设备 [P]. 
徐开涛 ;
陈夏薇 ;
姚建强 ;
郭剑飞 ;
吴文龙 .
中国专利 :CN217846407U ,2022-11-18
[7]
可伸缩推片载台 [P]. 
马少华 .
中国专利 :CN203216775U ,2013-09-25
[8]
涂片机推片载台 [P]. 
马少华 .
中国专利 :CN203216767U ,2013-09-25
[9]
一种用于光学抛光片检测台的载片支架 [P]. 
陆宇 ;
江光成 .
中国专利 :CN208847643U ,2019-05-10
[10]
检测载台 [P]. 
王忠祥 ;
陆豪亮 ;
管兵 ;
王鹏 ;
吴延虎 .
中国专利 :CN218470671U ,2023-02-10