选择性蚀刻剂组合物及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202280039660.3

申请日：

2022-05-12

公开(公告)号：

CN117425717A

公开(公告)日：

2024-01-19

发明(设计)人：

吴幸臻杨闵杰 A·廖戴雯华蓝惟龄

申请人：

恩特格里斯公司

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

C09K13/06

IPC分类号：

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

李婷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-06	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C09K 13/06申请日:20220512
2024-01-19	公开	公开

共 50 条

[1]

选择性蚀刻方法 [P].

克里斯托弗·科多尼尔 ;

锅岛三弘 ;

熊谷真吾 ;

高桥直贵 .

中国专利 :CN103205259A ,2013-07-17

[2]

选择性蚀刻方法 [P].

G·瓦格纳 .

中国专利 :CN101015043A ,2007-08-08

[3]

选择性湿式蚀刻组合物和方法 [P].

洪亨杓 ;

许家荣 ;

A·K·达斯 ;

金元来 ;

S·A·利普皮 ;

廖明吉 .

美国专利 :CN118234830A ,2024-06-21

[4]

表面选择性研磨组合物 [P].

金辉星 ;

安妮·米勒 .

中国专利 :CN104968754A ,2015-10-07

[5]

高度选择性掺杂的氧化物蚀刻剂 [P].

尼拉杰·拉纳 ;

普拉尚特·拉古 ;

凯文·特雷克 .

中国专利 :CN101390200A ,2009-03-18

[6]

选择性蚀刻栅极隔片氧化物材料的组合物和方法 [P].

马萨·拉贾拉特纳姆 ;

大卫·D·伯恩哈德 ;

大卫·W·明赛克 .

中国专利 :CN101496146A ,2009-07-29

[7]

选择性蚀刻方法及装置 [P].

刘苏涛 ;

苏财宝 ;

林士闵 ;

渠兴宇 .

中国专利 :CN115376915A ,2022-11-22

[8]

蚀刻剂组合物及相关方法 [P].

S·M·比洛德 ;

C·叶文埃斯 .

美国专利 :CN120265729A ,2025-07-04

[9]

选择性蚀刻氮化钛的组合物和方法 [P].

埃马纽尔·I·库珀 ;

陈丽敏 ;

斯蒂芬·里皮 ;

许家荣 ;

涂胜宏 ;

王界入 .

中国专利 :CN105492576A ,2016-04-13

[10]

选择性氮化物蚀刻 [P].

伊凡·L·贝瑞三世 ;

伊夫兰·安格洛夫 ;

琳达·马克斯 ;

费萨尔·雅各布 ;

皮利翁·帕克 ;

海伦·H·朱 ;

贝尤·阿特马加·西德乔伊斯沃罗 ;

李昭 .

中国专利 :CN105719949A ,2016-06-29

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