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セリア系複合微粒子分散液、その製造方法及びセリア系複合微粒子分散液を含む研磨用砥粒分散液[ja]

被引：0
申请号：
JP20190522160
申请日：
2018-05-23
公开(公告)号：
JPWO2018221357A1
公开(公告)日：
2020-04-02
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C01B33/12
IPC分类号：
B24B37/00 C01B33/145 C01F17/229 C01F17/235 C09G1/02 C09K3/14 H01L21/304
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
共 50 条
[21]
シリカ系複合微粒子分散液及びシリカ系複合微粒子分散液を含む研磨用スラリー[ja] [P]. 
日本专利 :JP6730254B2 ,2020-07-29
[22]
シリカ微粒子分散液、その製造方法及びシリカ微粒子分散液を含む研磨用砥粒分散液[ja] [P]. 
NAKAYAMA KAZUHIRO ;
KASHIWADA SHINGO .
日本专利 :JP2024058695A ,2024-04-30
[23]
シリカ微粒子分散液、その製造方法及びシリカ微粒子分散液を含む研磨用砥粒分散液[ja] [P]. 
NAKAYAMA KAZUHIRO ;
KASHIWADA SHINGO .
日本专利 :JP2024002535A ,2024-01-11
[24]
シリカ系複合微粒子分散液、その製造方法及びシリカ系複合微粒子分散液を含む研磨用スラリー[ja] [P]. 
日本专利 :JP6703437B2 ,2020-06-03
[25]
シリカ系複合微粒子分散液、その製造方法及びシリカ系複合微粒子分散液を含む研磨用スラリー[ja] [P]. 
日本专利 :JP6829007B2 ,2021-02-10
[26]
シリカ系複合微粒子分散液、その製造方法及びシリカ系複合微粒子分散液を含む研磨用スラリー[ja] [P]. 
日本专利 :JP6948423B2 ,2021-10-13
[27]
シリカ系複合微粒子分散液、その製造方法及びシリカ系複合微粒子分散液を含む研磨用スラリー[ja] [P]. 
日本专利 :JP6603142B2 ,2019-11-06
[28]
複合型セリア系複合微粒子分散液およびその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7682084B2 ,2025-05-23
[29]
シリカ系複合微粒子分散液の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6710100B2 ,2020-06-17
[30]
微粒子分散液製造方法および微粒子分散液製造装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP5677409B2 ,2015-02-25
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