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露光装置、露光方法および物品の製造方法[ja]

被引：0
申请号：
JP20200201213
申请日：
2020-12-03
公开(公告)号：
JP2022089012A
公开(公告)日：
2022-06-15
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
G02B7/02
IPC分类号：
G03F7/20
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
共 50 条
[1]
露光方法、露光装置および物品の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2022096141A ,2022-06-29
[2]
露光装置、露光方法、および物品製造方法[ja] [P]. 
MOTOJIMA JUNICHI .
日本专利 :JP2024157368A ,2024-11-07
[3]
露光方法、露光装置、および物品製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025007900A ,2025-01-17
[4]
露光装置、露光方法、および物品製造方法[ja] [P]. 
KURITA YUSUKE ;
SUZUKI YU ;
HEMMI KAZUHIRO .
日本专利 :JP2024171856A ,2024-12-12
[5]
露光装置、物品の製造方法、及び露光方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025155322A ,2025-10-14
[6]
露光装置、および物品製造方法[ja] [P]. 
NAKAYAMA REI .
日本专利 :JP2024149189A ,2024-10-18
[7]
露光装置および物品製造方法[ja] [P]. 
IWATA SHOHEI .
日本专利 :JP2024062787A ,2024-05-10
[8]
露光装置、露光方法及び物品の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025164565A ,2025-10-30
[9]
露光方法、露光装置及び物品の製造方法[ja] [P]. 
WATANABE JINNAI ;
MOIZUMI JUN .
日本专利 :JP2024065682A ,2024-05-15
[10]
露光装置、露光方法及び物品の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7759430B1 ,2025-10-23
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