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露光装置、露光方法及び物品の製造方法[ja]

被引：0
申请号：
JP20240068617
申请日：
2024-04-19
公开(公告)号：
JP2025164565A
公开(公告)日：
2025-10-30
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
共 50 条
[1]
露光方法、露光装置及び物品の製造方法[ja] [P]. 
WATANABE JINNAI ;
MOIZUMI JUN .
日本专利 :JP2024065682A ,2024-05-15
[2]
露光装置、露光方法及び物品の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7759430B1 ,2025-10-23
[3]
露光装置、露光方法及び物品の製造方法[ja] [P]. 
YOSHIOKA YASUTOMO ;
SUZUKI TORU ;
OKAZUMI HIRONORI ;
TAMAOKI KIMIHISA ;
HAMAZAKI YASUTAKA .
日本专利 :JP2023180035A ,2023-12-20
[4]
露光装置、露光方法、及び物品の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025153308A ,2025-10-10
[5]
露光装置、物品の製造方法、及び露光方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025155322A ,2025-10-14
[6]
露光方法、露光装置及び物品の製造方法[ja] [P]. 
MOIZUMI JUN .
日本专利 :JP2024065681A ,2024-05-15
[7]
露光装置、露光方法、及び物品の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2022095051A ,2022-06-28
[8]
露光装置、露光方法及び物品の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025167911A ,2025-11-07
[9]
露光装置及び物品の製造方法[ja] [P]. 
KARASAWA AYUMU ;
SATO TAKANORI .
日本专利 :JP2025025620A ,2025-02-21
[10]
露光装置、及び物品の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2022163826A ,2022-10-27
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