露光装置及び物品の製造方法[ja]

被引：0

申请号：

JP20230130530

申请日：

2023-08-09

公开(公告)号：

JP2025025620A

公开(公告)日：

2025-02-21

发明(设计)人：

KARASAWA AYUMU SATO TAKANORI

申请人：

CANON KK

申请人地址：

IPC主分类号：

G03F9/00

IPC分类号：

G03F7/20

代理机构：

代理人：

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法律状态信息

共 50 条

[1]

露光装置、露光方法及び物品の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP2025164565A ,2025-10-30

[2]

露光方法、露光装置及び物品の製造方法[ja] [P].

WATANABE JINNAI ;

MOIZUMI JUN .

日本专利 :JP2024065682A ,2024-05-15

[3]

露光装置、露光方法及び物品の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP7759430B1 ,2025-10-23

[4]

露光装置、露光方法及び物品の製造方法[ja] [P].

YOSHIOKA YASUTOMO ;

SUZUKI TORU ;

OKAZUMI HIRONORI ;

TAMAOKI KIMIHISA ;

HAMAZAKI YASUTAKA .

日本专利 :JP2023180035A ,2023-12-20

[5]

露光装置、露光方法、及び物品の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP2025153308A ,2025-10-10

[6]

露光装置、物品の製造方法、及び露光方法[ja] [P].

日本专利 :JP2025155322A ,2025-10-14

[7]

露光方法、露光装置及び物品の製造方法[ja] [P].

MOIZUMI JUN .

日本专利 :JP2024065681A ,2024-05-15

[8]

露光装置、露光方法、及び物品の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP2022095051A ,2022-06-28

[9]

露光装置、露光方法及び物品の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP2025167911A ,2025-11-07

[10]

露光装置、及び物品の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP2022163826A ,2022-10-27

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