モノシランの熱分解によるジシランの製造方法及び製造装置[ja]

被引:0
申请号
JP20150514889
申请日
2013-02-22
公开(公告)号
JP2015523304A
公开(公告)日
2015-08-13
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C01B33/04
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
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