共 50 条
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アルコキシシリルアミン化合物及びその応用[ja]
被引：0
申请号：
JP20130256054
申请日：
2013-12-11
公开(公告)号：
JP5886818B2
公开(公告)日：
2016-03-16
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/318
IPC分类号：
C07F7/04
C07F7/18
C23C16/42
H01L21/316
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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