アルコキシアミノシラン化合物およびその用途[ja]

被引:0
申请号
JP20130011938
申请日
2013-01-25
公开(公告)号
JP5763692B2
公开(公告)日
2015-08-12
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C07F7/10
IPC分类号
C07F7/18 C09D7/63 C23C16/18 C23C16/42 H01L21/31 H01L21/316
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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