半導体処理用組成物および処理方法[ja]

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申请号
JP20180560116
申请日
2018-06-27
公开(公告)号
JPWO2019026478A1
公开(公告)日
2019-08-08
发明(设计)人
申请人
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IPC主分类号
H01L21/304
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
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共 50 条
[1]
半導体処理用組成物および処理方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6508501B1 ,2019-05-08
[2]
半導体処理用組成物及び処理方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7290194B1 ,2023-06-13
[3]
半導体処理用組成物及び処理方法[ja] [P]. 
TANO HIROYUKI .
日本专利 :JP2024060244A ,2024-05-02
[4]
半導体処理用組成物及び処理方法[ja] [P]. 
TANO HIROYUKI .
日本专利 :JP2024060242A ,2024-05-02
[5]
半導体処理用組成物及び処理方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7290195B1 ,2023-06-13
[7]
表面処理組成物、表面処理方法、および半導体基板の製造方法[ja] [P]. 
NAGANO TAKAHITO ;
YOSHINO TSUTOMU ;
SAIKAI MASASHI .
日本专利 :JP2024144139A ,2024-10-11
[8]
表面処理組成物、表面処理方法、および半導体基板の製造方法[ja] [P]. 
YOSHINO TSUTOMU ;
TOKUSHIMA HIDEYUKI .
日本专利 :JP2024050389A ,2024-04-10
[9]
水処理剤組成物および水処理方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025000238A ,2025-01-07
[10]
水処理剤組成物および水処理方法[ja] [P]. 
SOMEYA SHINTARO ;
KIDA MIKIO ;
YOSHIKAWA HIROSHI .
日本专利 :JP2024137300A ,2024-10-07