共 50 条
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複合酸化物ターゲット及びその製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20210117535
申请日：
2021-07-16
公开(公告)号：
JP7165787B1
公开(公告)日：
2022-11-04
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/34
IPC分类号：
C04B35/053
C04B35/46
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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