共 50 条
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金属酸化物ターゲットおよび金属酸化物ターゲットの製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20160520613
申请日：
2014-10-06
公开(公告)号：
JP2016539246A
公开(公告)日：
2016-12-15
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/34
IPC分类号：
C23C4/06
C23C4/067
C23C4/10
C23C4/134
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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