成膜方法および成膜装置[ja]

被引：0

申请号：

JP20030522998

申请日：

2002-08-30

公开(公告)号：

JPWO2003019645A1

公开(公告)日：

2004-12-16

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/312

IPC分类号：

C23C16/30 C23C16/40 C23C16/42 C23C16/452 H01L21/314 H01L21/316 H01L21/318

代理机构：

代理人：

法律状态：

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

成膜方法および成膜装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2014024406A1 ,2016-07-25

[2]

成膜方法および成膜装置[ja] [P].

WATANABE YOSHIMASA ;

UMEZAWA KOTA ;

ISHII KATSUTOSHI .

日本专利 :JP2025066851A ,2025-04-24

[3]

酸化膜成膜方法および酸化膜成膜装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2013038484A1 ,2015-03-23

[4]

成膜方法および成膜装置[ja] [P].

日本专利 :JP7584286B2 ,2024-11-15

[5]

成膜方法および成膜装置[ja] [P].

日本专利 :JP7195190B2 ,2022-12-23

[6]

成膜方法および成膜装置[ja] [P].

日本专利 :JP6211941B2 ,2017-10-11

[7]

成膜方法および成膜装置[ja] [P].

日本专利 :JP6017361B2 ,2016-10-26

[8]

成膜方法、および成膜装置[ja] [P].

KUBO KAZUMI .

日本专利 :JP2025021970A ,2025-02-14

[9]

成膜装置および成膜方法[ja] [P].

日本专利 :JP7292110B2 ,2023-06-16

[10]

成膜装置および成膜方法[ja] [P].

日本专利 :JP7097740B2 ,2022-07-08

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