酸化膜成膜方法および酸化膜成膜装置[ja]

被引：0

申请号：

JP20130533367

申请日：

2011-09-13

公开(公告)号：

JPWO2013038484A1

公开(公告)日：

2015-03-23

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

C01B13/34

IPC分类号：

C01B13/14

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法律状态信息

共 50 条

[1]

酸化膜成膜方法および酸化膜成膜装置[ja] [P].

日本专利 :JP5841156B2 ,2016-01-13

[2]

金属酸化膜の成膜方法、金属酸化膜および金属酸化膜の成膜装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2010122629A1 ,2012-10-22

[3]

金属酸化膜の成膜方法、金属酸化膜および金属酸化膜の成膜装置[ja] [P].

日本专利 :JP5652768B2 ,2015-01-14

[4]

金属酸化膜の成膜方法、金属酸化膜および金属酸化膜の成膜装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2011027425A1 ,2013-01-31

[5]

金属酸化膜の成膜方法および金属酸化膜の成膜装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2010035313A1 ,2012-02-16

[6]

金属酸化膜の成膜装置、金属酸化膜の成膜方法[ja] [P].

日本专利 :JP5614558B2 ,2014-10-29

[7]

金属酸化膜の成膜装置、金属酸化膜の製造方法および金属酸化膜[ja] [P].

日本专利 :JPWO2011151889A1 ,2013-07-25

[8]

成膜方法および成膜装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2014024406A1 ,2016-07-25

[9]

成膜方法および成膜装置[ja] [P].

WATANABE YOSHIMASA ;

UMEZAWA KOTA ;

ISHII KATSUTOSHI .

日本专利 :JP2025066851A ,2025-04-24

[10]

成膜方法および成膜装置[ja] [P].

日本专利 :JPWO2003019645A1 ,2004-12-16

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