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酸化膜成膜方法および酸化膜成膜装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20130533367
申请日：
2011-09-13
公开(公告)号：
JP5841156B2
公开(公告)日：
2016-01-13
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C01B13/34
IPC分类号：
C01B13/14
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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