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磁性薄膜積層構造体の堆積方法、磁性薄膜積層構造体およびマイクロインダクタンス装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20190522894
申请日：
2017-10-25
公开(公告)号：
JP2020501341A
公开(公告)日：
2020-01-16
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01F10/30
IPC分类号：
B32B7/025
C23C14/06
H01F10/12
H01F17/04
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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