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薄膜トランジスタアレイ、薄膜トランジスタアレイ多面付け基板、およびそれらの製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20200514379
申请日：
2019-04-15
公开(公告)号：
JPWO2019203200A1
公开(公告)日：
2021-05-13
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L29/786
IPC分类号：
G09F9/30
H01L21/336
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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