共 50 条
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結晶性酸化物膜[ja]
被引：0
申请号：
JP20180242291
申请日：
2018-12-26
公开(公告)号：
JP7315137B2
公开(公告)日：
2023-07-26
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/365
IPC分类号：
C23C16/40
C30B25/18
C30B29/16
H01L21/329
H01L21/337
H01L21/338
H01L21/368
H01L23/29
H01L23/34
H01L29/06
H01L29/12
H01L29/24
H01L29/739
H01L29/778
H01L29/78
H01L29/808
H01L29/812
H01L29/861
H01L29/868
H01L29/872
H01L33/26
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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