共 50 条
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結晶性酸化物膜[ja]
被引：0
申请号：
JP20220033298
申请日：
2022-03-04
公开(公告)号：
JP7306640B2
公开(公告)日：
2023-07-11
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C30B29/16
IPC分类号：
C23C16/40
C30B25/18
H01L21/336
H01L21/365
H01L21/368
H01L29/24
H01L29/786
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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