プラズマ加工装置[ja]

被引:0
申请号
JP20190007436
申请日
2019-01-21
公开(公告)号
JP7309368B2
公开(公告)日
2023-07-18
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
B23K10/00
IPC分类号
B23K10/02 H05H1/34
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[2]
プラズマガン、及び、プラズマ加工装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7607979B2 ,2025-01-06
[3]
プラズマガン、及び、プラズマ加工装置[ja] [P]. 
IWASE CHIKATSU ;
SUZUKI TATSUHIRO ;
SAKUMA NAOFUMI ;
SUGO TOMOHISA ;
KANO RYO ;
NIIHORI SHUNICHIRO .
日本专利 :JP2024045067A ,2024-04-02
[4]
[5]
プラズマガス利用加工装置と方法[ja] [P]. 
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[7]
基板載置装置及びプラズマ加工装置[ja] [P]. 
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[8]
プラズマ加工装置用パルス電源装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7011118B1 ,2022-01-26
[9]
プラズマ加工装置用パルス電源装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7505159B1 ,2024-06-25