プラズマガン、及び、プラズマ加工装置[ja]

被引:0
申请号
JP20230151896
申请日
2023-09-20
公开(公告)号
JP7607979B2
公开(公告)日
2025-01-06
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H05H1/46
IPC分类号
H05H1/30
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
プラズマガン、及び、プラズマ加工装置[ja] [P]. 
IWASE CHIKATSU ;
SUZUKI TATSUHIRO ;
SAKUMA NAOFUMI ;
SUGO TOMOHISA ;
KANO RYO ;
NIIHORI SHUNICHIRO .
日本专利 :JP2024045067A ,2024-04-02
[3]
[4]
プラズマ加工装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7309368B2 ,2023-07-18
[5]
プラズマガス利用加工装置と方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6497674B2 ,2019-04-10
[8]
基板載置装置及びプラズマ加工装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP2016520255A ,2016-07-11