共 19 条
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ＭＲＡＭウェハ試験のための磁場増強バッキングプレート[ja]
被引：0
申请号：
JP20180509883
申请日：
2016-07-28
公开(公告)号：
JP2018534757A
公开(公告)日：
2018-11-22
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/66
IPC分类号：
G01R31/26
G11C29/00
H01L21/8239
H01L27/105
H10N50/10
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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