共 50 条
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酸化物およびその作製方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20170558798
申请日：
2016-12-19
公开(公告)号：
JPWO2017115209A1
公开(公告)日：
2018-12-06
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/363
IPC分类号：
C23C14/08
C23C14/34
H01L21/336
H01L21/8234
H01L27/06
H01L27/088
H01L29/786
H10B12/00
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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