共 50 条
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複合酸化物半導体、およびその作製方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20170062226
申请日：
2017-03-28
公开(公告)号：
JP7033853B2
公开(公告)日：
2022-03-11
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L29/786
IPC分类号：
C23C14/08
H01L21/336
H01L21/363
H01L51/50
H05B33/14
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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