窒素酸化物、クロロフルオロカーボン類、ヒドロクロロフルオロカーボン類、ヒドロフルオロカーボン類、及び過フッ化化合物を含む複合廃ガスの統合処理システム[ja]

被引:0
申请号
JP20180566537
申请日
2017-07-26
公开(公告)号
JP2019527129A
公开(公告)日
2019-09-26
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
B01D53/86
IPC分类号
B01D47/06 B01D53/18 B01D53/50 B01D53/68 B01D53/75 B01D53/78 B01D53/82 B01D53/90 B09B3/00 F01N3/021 F01N3/025 F01N3/04 F01N3/08 F01N3/24
代理机构
代理人
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