圧電素子の製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20110525862
申请日
2010-07-29
公开(公告)号
JPWO2011016381A1
公开(公告)日
2013-01-10
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L21/3065
IPC分类号
H10N30/00 H10N30/01 H10N30/082 H10N30/093 H10N30/20 H10N30/85 H10N30/853
代理机构
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法律状态
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共 50 条
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