共 50 条
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プラズマ生成装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20110531837
申请日：
2010-07-15
公开(公告)号：
JPWO2011033849A1
公开(公告)日：
2013-02-07
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H05H1/24
IPC分类号：
C23C16/50
H01L21/205
H05H1/46
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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