共 50 条
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プラズマ生成装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20150110349
申请日：
2015-05-29
公开(公告)号：
JP6415388B2
公开(公告)日：
2018-10-31
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01J27/14
IPC分类号：
H01J37/08
H05H1/48
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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