共 50 条
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成膜装置及び成膜方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20100507262
申请日：
2009-04-08
公开(公告)号：
JPWO2009125803A1
公开(公告)日：
2011-08-04
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/58
IPC分类号：
C23C28/00
G02B1/11
G02B1/115
G02B1/14
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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