共 50 条
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成膜装置及び成膜方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20110547528
申请日：
2010-12-20
公开(公告)号：
JPWO2011081046A1
公开(公告)日：
2013-05-09
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/04
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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