共 50 条
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成膜方法及び成膜装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20120538012
申请日：
2012-08-02
公开(公告)号：
JPWO2013046918A1
公开(公告)日：
2015-03-26
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/02
IPC分类号：
C23C14/08
C23C14/12
G02B1/11
G02B1/14
G02B1/18
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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