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研磨パッド及びその製造方法、並びに、研磨加工品の製造方法[ja]

被引：0
申请号：
JP20170104786
申请日：
2017-05-26
公开(公告)号：
JP6990993B2
公开(公告)日：
2022-01-12
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
B24B37/26
IPC分类号：
B24B37/00 B24B37/12 B24B37/24 H01L21/304
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
共 50 条
[1]
研磨パッド及びその製造方法、並びに、研磨加工品の製造方法[ja] [P]. 
ITOYAMA MITSUNORI ;
TATENO TEPPEI ;
KAWASAKI TETSUAKI ;
TAKAMIZAWA YAMATO ;
MORIAKI RYOMA ;
OCHI KEISUKE .
日本专利 :JP2024024757A ,2024-02-26
[2]
研磨パッド及びその製造方法、並びに、研磨加工品の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7193221B2 ,2022-12-20
[3]
研磨パッド及びその製造方法、並びに、研磨加工品の製造方法[ja] [P]. 
ITOYAMA MITSUNORI ;
TATENO TEPPEI ;
KAWASAKI TETSUAKI ;
TAKAMIZAWA YAMATO ;
MORIAKI RYOMA ;
OCHI KEISUKE .
日本专利 :JP2024024760A ,2024-02-26
[4]
研磨パッド及びその製造方法、並びに、研磨加工品の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6970493B2 ,2021-11-24
[5]
研磨パッド及びその製造方法、並びに研磨加工品の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7323401B2 ,2023-08-08
[6]
研磨パッド及びその製造方法、並びに、研磨加工品の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6792988B2 ,2020-12-02
[7]
研磨パッド及びその製造方法、並びに研磨加工品の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7181040B2 ,2022-11-30
[8]
研磨パッド及びその製造方法、並びに研磨加工品の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7328838B2 ,2023-08-17
[9]
研磨パッド及びその製造方法、並びに、研磨加工品の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7002853B2 ,2022-01-20
[10]
研磨パッド及びその製造方法、並びに研磨加工品の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7295624B2 ,2023-06-21
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