研磨パッド及びその製造方法、並びに、研磨加工品の製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20170073537
申请日
2017-04-03
公开(公告)号
JP7002853B2
公开(公告)日
2022-01-20
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
B24B37/24
IPC分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
研磨パッド及びその製造方法、並びに、研磨加工品の製造方法[ja] [P]. 
ITOYAMA MITSUNORI ;
TATENO TEPPEI ;
KAWASAKI TETSUAKI ;
TAKAMIZAWA YAMATO ;
MORIAKI RYOMA ;
OCHI KEISUKE .
日本专利 :JP2024024757A ,2024-02-26
[3]
研磨パッド及びその製造方法、並びに、研磨加工品の製造方法[ja] [P]. 
ITOYAMA MITSUNORI ;
TATENO TEPPEI ;
KAWASAKI TETSUAKI ;
TAKAMIZAWA YAMATO ;
MORIAKI RYOMA ;
OCHI KEISUKE .
日本专利 :JP2024024760A ,2024-02-26