液体金属イオン源[ja]

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申请号
JP20170218767
申请日
2017-11-14
公开(公告)号
JP6965115B2
公开(公告)日
2021-11-10
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01J27/26
IPC分类号
H01J37/08
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
液体金属イオン源[ja] [P]. 
日本专利 :JP7455857B2 ,2024-03-26
[2]
液体金属イオン源[ja] [P]. 
日本专利 :JP2022525891A ,2022-05-20
[3]
液体金属イオン源及び集束イオンビーム装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7479810B2 ,2024-05-09
[4]
イオン源中の液体金属のためのるつぼの設計[ja] [P]. 
日本专利 :JP7708895B2 ,2025-07-15
[5]
イオン源中の液体金属のためのるつぼの設計[ja] [P]. 
日本专利 :JP2024523908A ,2024-07-02
[7]
液体金属用電磁ポンプ[ja] [P]. 
日本专利 :JP5925027B2 ,2016-05-25
[10]