金属トリアミン化合物、その製造方法およびこれを含む金属含有薄膜蒸着用組成物[ja]

被引：0

申请号：

JP20180556927

申请日：

2018-04-26

公开(公告)号：

JP2020517579A

公开(公告)日：

2020-06-18

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

C07F7/28

IPC分类号：

C07F5/00 C07F7/00 C07F7/18 C07F9/00 C07F11/00 C23C16/18 H01L21/316 H01L21/318

代理机构：

代理人：

法律状态：

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

金属トリアミン化合物、その製造方法およびこれを含む金属含有薄膜蒸着用組成物[ja] [P].

日本专利 :JP7246929B2 ,2023-03-28

[2]

遷移金属化合物、その製造方法およびこれを含む遷移金属含有薄膜蒸着用組成物[ja] [P].

日本专利 :JP6979032B2 ,2021-12-08

[3]

遷移金属化合物、その製造方法およびこれを含む遷移金属含有薄膜蒸着用組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2019513753A ,2019-05-30

[4]

ジシリルアミン化合物、その製造方法、およびそれを含むシリコン含有薄膜蒸着用組成物[ja] [P].

日本专利 :JP7025448B2 ,2022-02-24

[5]

ジシリルアミン化合物、その製造方法、およびそれを含むシリコン含有薄膜蒸着用組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2020517651A ,2020-06-18

[6]

金属化合物を含む薄膜蒸着用組成物、それを用いた金属含有薄膜の製造方法、およびそれを用いて製造された金属含有薄膜[ja] [P].

日本专利 :JP2025529153A ,2025-09-04

[7]

ヨウ素含有金属化合物およびこれを含む薄膜蒸着用組成物[ja] [P].

KWONE YONG HEE ;

YOUNG JAE ;

JEON SANG YONG ;

BYUN TAE SEOK ;

LEE SANG CHAN ;

LEE SANG ICK .

日本专利 :JP2025003673A ,2025-01-09

[8]

ヨウ素含有金属化合物およびこれを含む薄膜蒸着用組成物[ja] [P].

日本专利 :JP7645296B2 ,2025-03-13

[9]

モリブデン化合物、その製造方法、およびそれを含む薄膜蒸着用組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2024546124A ,2024-12-17

[10]

シリルアミン化合物、それを含むシリコン含有薄膜蒸着用組成物、およびそれを用いたシリコン含有薄膜の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JP2020515573A ,2020-05-28

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