共 50 条
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基板保持装置および基板保持装置を備える基板処理装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20170218564
申请日：
2017-11-13
公开(公告)号：
JP6946151B2
公开(公告)日：
2021-10-06
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/68
IPC分类号：
B24B41/06
H01L21/304
H01L21/683
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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