共 50 条
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基板保持装置、基板処理装置および基板保持方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20240024277
申请日：
2024-02-21
公开(公告)号：
JP2025127534A
公开(公告)日：
2025-09-02
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
B05C13/02
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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