共 50 条
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下地基板、機能素子および下地基板の製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20190545539
申请日：
2018-09-26
公开(公告)号：
JPWO2019065689A1
公开(公告)日：
2020-11-26
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C30B29/38
IPC分类号：
C30B19/02
C30B25/18
H01L21/205
H01L21/208
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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