共 50 条
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下地基板及びその製造方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20210508696
申请日：
2019-09-30
公开(公告)号：
JPWO2020194802A1
公开(公告)日：
2021-10-28
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C30B29/16
IPC分类号：
C30B25/18
H01L21/20
H01L21/205
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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