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有機含窒素化合物含有ガスの処理装置、有機含窒素化合物含有ガスの処理剤及び成膜装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20130090065
申请日：
2013-04-23
公开(公告)号：
JP6123454B2
公开(公告)日：
2017-05-10
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
B01D53/54
IPC分类号：
B01J20/12
B01J20/18
B01J20/20
H01L21/31
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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