共 50 条
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混合金属‐シリコン‐酸化物バリア[ja]
被引：0
申请号：
JP20150559305
申请日：
2014-02-26
公开(公告)号：
JP2016515166A
公开(公告)日：
2016-05-26
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C16/455
IPC分类号：
B32B9/00
C23C16/40
H01L51/50
H05B33/04
H05B33/10
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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