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研磨用複合粒子、研磨用複合粒子の製造方法及び研磨用スラリー[ja]
被引：0
申请号：
JP20160530027
申请日：
2016-02-03
公开(公告)号：
JP5979340B1
公开(公告)日：
2016-08-24
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C01B33/18
IPC分类号：
B24B37/00
C09K3/14
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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