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化学机械研磨用组合物、化学机械研磨方法及化学机械研磨用粒子的制造方法

被引：0
申请号：
CN202080079835.4
申请日：
2020-11-18
公开(公告)号：
CN114730711A
公开(公告)日：
2022-07-08
发明(设计)人：
王鹏宇 中西康二 山中达也
申请人：
申请人地址：
日本东京港区东新桥一丁目9番2号
IPC主分类号：
H01L21304
IPC分类号：
C09K314 B24B3700
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
臧建明;黄健
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-07-26 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20201118
2022-07-08 公开 公开
共 50 条
[1]
化学机械研磨用组合物、化学机械研磨方法及化学机械研磨用粒子的制造方法 [P]. 
王鹏宇 ;
中西康二 ;
山中达也 .
中国专利 :CN114730710A ,2022-07-08
[2]
化学机械研磨用组合物以及化学机械研磨方法 [P]. 
山田裕也 ;
王鹏宇 ;
杉江纪彦 ;
亀井康孝 .
日本专利 :CN114667593B ,2025-08-12
[3]
化学机械研磨用组合物以及化学机械研磨方法 [P]. 
山田裕也 ;
王鹏宇 ;
杉江纪彦 ;
亀井康孝 .
中国专利 :CN114667593A ,2022-06-24
[4]
化学机械研磨用组合物以及化学机械研磨方法 [P]. 
山田裕也 ;
王鹏宇 ;
杉江纪彦 ;
亀井康孝 .
中国专利 :CN114630880A ,2022-06-14
[5]
化学机械研磨用组合物及研磨方法 [P]. 
山田裕也 ;
高圣渊 .
日本专利 :CN119343748A ,2025-01-21
[6]
化学机械研磨用组合物及研磨方法 [P]. 
西村康平 ;
山田裕也 ;
中村柊平 ;
王鹏宇 .
中国专利 :CN114761502A ,2022-07-15
[7]
化学机械研磨用组合物及研磨方法 [P]. 
西村康平 ;
龟井康孝 ;
福与翼 .
日本专利 :CN120775503A ,2025-10-14
[8]
化学机械研磨用组合物及研磨方法 [P]. 
西村康平 ;
龟井康孝 ;
福与翼 .
日本专利 :CN120775502A ,2025-10-14
[9]
化学机械研磨用组合物及研磨方法 [P]. 
龟井康孝 .
日本专利 :CN120814030A ,2025-10-17
[10]
化学机械研磨用组合物及研磨方法 [P]. 
石牧昂辉 ;
山口弥里 ;
羽木慎一郎 .
日本专利 :CN120660173A ,2025-09-16
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