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化学机械研磨用组合物及研磨方法
被引：0
申请号：
CN202080082375.0
申请日：
2020-11-17
公开(公告)号：
CN114761502A
公开(公告)日：
2022-07-15
发明(设计)人：
西村康平
山田裕也
中村柊平
王鹏宇
申请人：
申请人地址：
日本东京港区东新桥一丁目9番2号
IPC主分类号：
C09G102
IPC分类号：
C09K314
B24B3704
H01L21304
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
鲁迪娟;刘芳
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-08-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C09G 1/02 申请日:20201117 |
| 2022-07-15 | 公开 | 公开 |