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化学机械研磨用组合物及研磨方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202480013481.1
申请日：
2024-02-21
公开(公告)号：
CN120814030A
公开(公告)日：
2025-10-17
发明(设计)人：
龟井康孝
申请人：
JSR株式会社
申请人地址：
日本东京港区东新桥一丁目9番2号
IPC主分类号：
H01L21/304
IPC分类号：
B24B37/10
C09G1/02
C09K3/14
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
杨泽;臧建明
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-10-17 | 公开 | 公开 |