シリコン窒化膜エッチング組成物[ja]

被引：0

申请号：

JP20210547825

申请日：

2020-02-10

公开(公告)号：

JP2022520655A

公开(公告)日：

2022-03-31

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/306

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共 50 条

[1]

シリコン窒化物のエッチング方法及びエッチング装置[ja] [P].

SUZUKI SHOI ;

YAO AKIFUMI .

日本专利 :JP2024152901A ,2024-10-25

[2]

エッチング組成物[ja] [P].

日本专利 :JP2022547312A ,2022-11-11

[3]

シリコンエッチング液[ja] [P].

日本专利 :JP2025157629A ,2025-10-16

[4]

シリコンエッチング液[ja] [P].

日本专利 :JPWO2020129737A1 ,2021-10-28

[5]

シリコンエッチング液[ja] [P].

NORO KOSUKE ;

HITOMI TATSUYA ;

SEIKE YOSHIKI ;

OKIMURA KOSHIRO .

日本专利 :JP2024034694A ,2024-03-13

[6]

エッチング液組成物[ja] [P].

日本专利 :JPWO2009066750A1 ,2011-04-07

[7]

エッチング液組成物[ja] [P].

日本专利 :JPWO2003081658A1 ,2005-07-28

[8]

エッチング液組成物[ja] [P].

SATO KANJI .

日本专利 :JP2025116855A ,2025-08-08

[9]

エッチング液組成物[ja] [P].

KIMURA YOSUKE ;

OKAZAKI SHOTA ;

SATO KANJI .

日本专利 :JP2024032483A ,2024-03-12

[10]

エッチング液組成物[ja] [P].

KIMURA YOSUKE .

日本专利 :JP2024032480A ,2024-03-12

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