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シリコン窒化物のエッチング方法及びエッチング装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20240139609
申请日：
2024-08-21
公开(公告)号：
JP2024152901A
公开(公告)日：
2024-10-25
发明(设计)人：
SUZUKI SHOI
YAO AKIFUMI
申请人：
CENTRAL GLASS CO LTD
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/302
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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